一、阐述1、磁阻概念：材料的电阻会因另加磁场而减少或增加，电阻的变化量称作磁阻（Magnetoresistance）。物质在磁场中电阻率发生变化的现象称作磁阻效应。同霍尔效应一样，磁阻效应也是由于载流子在磁场中受到洛伦兹力而产生的。从一般磁阻开始，磁阻发展经历了虎磁阻（GMR）、庞磁阻（CMR）、异向磁阻（AMR）、穿着隧磁阻（TMR）、冲向磁阻（BMR）和出现异常磁阻（EMR）。
2、磁阻应用于：磁阻效应普遍用作磁传感、磁力计、电子罗盘、方位和角度传感器、车辆观测、GPS导航系统、仪器仪表、磁存储（磁卡、硬盘）等领域。磁阻器件由于灵敏度低、抗干扰能力强劲等优点在工业、交通、仪器仪表、医疗器械、探矿等领域获得广泛应用，如数字式罗盘、交通车辆检测、导航系统、伪钞检别、方位测量等。3、穿着隧磁阻效应（TMR）：穿着隧磁阻效应是所指在铁磁－绝缘体薄膜（大约1纳米）－铁磁材料中，其穿着隧电阻大小随两边铁磁材料比较方向变化的效应。
TMR效应由于具备磁电阻效应大、磁场灵敏度高等独有优势，从而展示出十分诱人的应用于前景。此效应堪称磁性随机存取内存（magneticrandomaccessmemory，MRAM）与硬盘中的磁性读取头（readsensors）的科学基础。二、穿着隧磁阻效应（TMR）的物理简释从经典物理学观点显然，铁磁层（F1）＋绝缘层（I）＋铁磁层（F2）的三明治结构根本无法构建电子在磁层中的穿通，而量子力学却可以极致说明这一现象。
当两层铁磁层的磁化方向相互平行，多数磁矩子带的电子将转入另一磁性层中多数磁矩子带的空态，少数磁矩子带的电子也将转入另一磁性层中少数磁矩子带的空态，总的隧穿电流较小，此时器件为低阻状态；当两层的磁铁层的磁化方向反平行，情况则恰好忽略，即多数磁矩子带的电子将转入另一磁性层中少数磁矩子带的空态，而少数磁矩子带的电子也转入另一磁性层中多数磁矩子带的空态，此时隧穿着电流较小，器件为高阻状态。可以显现出，隧道电流和隧道电阻依赖两个铁磁层磁化强度的比较倾向，当磁化方向发生变化时，隧穿着电阻发生变化，因此称作隧道磁电阻效应。
图1TMR磁化方向平行和鼓吹平行时的双电流模型TMR磁传感器利用磁场变化引发磁电阻变化的原理，因此我们可以通过TMR磁传感器的电阻变化来测算外磁场的变化。实际的TMR磁阻传感器的制作远比铁磁层＋绝缘层＋铁磁层的三明治结构复杂。基本结构除了铁磁层＋绝缘层＋铁磁层的三明治结构外，还在上下减少覆以电极层（uppercontact）和底电极层（lowercontact），两层电极必要与相似的磁层认识。
底电极层坐落于绝缘基片（Insulating）上方，绝缘基片要比底电极层要长，且坐落于衬底（Substrate）的上方。图2TMR磁阻传感器的结构三、TMR磁阻传感器的特性基于磁电阻效应磁信号可以改变为电信号，除了庞磁电阻（CMR）效应受到温度区间和工作磁场的容许而很难应用于以外，其他AMR、GMR、TMR三种磁电阻效应都可以应用于磁传感器中。目前，AMR传感器早已大规模应用于；GMR传感器于是以方兴未艾，较慢发展。
TMR传感技术最先应用于硬盘驱动器朗读磁头，大大提高了硬盘驱动器的记录密度。它集AMR的高灵敏度和GMR的长动态范围优点于一体，因而在各类磁传感器技术中，TMR磁传感器具备无可比拟的技术优势，其各项性能指标皆近高于其他类型的传感器，下表格1得出了三种效应的传感器技术较为。
表格1三种MR传感技术较为由TMR材料做成各种高灵敏度磁传感器，用作检测黯淡磁场和对黯淡磁场信号展开传感。此类传感器具备体积小、可靠性低、号召范围长等优势，能符合应付自动化技术、家用电器、商标辨识、卫星定位、导航系统以及精密测量技术等方面更加严苛的拒绝。
基于TMR技术做成的传感器有以下特点：1、高灵敏度——被检测信号的强度更加很弱，必须磁性传感器灵敏度获得很大提升。应用于方面还包括电流传感器、角度传感器、齿轮传感器、太空环境测量。（1）电流传感器：必须检测到nA级别的电流，即使再加聚磁环，也必须磁性传感器本身的检测精度超过nT的水平（2）角度传感器：＜0．01的分辨率（3）齿轮传感器：齿轮的精细化以及传感器到齿轮的间距的最大化，造成磁性信号显得十分黯淡（4）太空环境测量：分辨率＜0．015nT（5）基于磁性出现异常检测的海洋布防等：＜0．02pT的检测分辨率2、温度稳定性——更好的应用领域拒绝传感器的工作环境更加严苛，这就拒绝磁传感器必需具备很好的温度稳定性，行业应用于还包括汽车电子行业。（1）汽车电子行业：从滴水成冰的外部环境到滚烫的发动机内部都必需工作（2）智能电网：可以庆贺百年一遇的严寒，也能固守在痉挛相当严重的堵塞体内（3）航空航天领域：在有维护的情况下，工作温度的跨度也是十分大的3、高频特性——随着应用领域的推展，拒绝传感器的工作频率更加低，应用领域还包括水表、汽车电子行业、信息记录行业。
（1）水表：可以检测到0．0001m的即时流量（＞10kHz）（2）汽车电子行业：部件的仪器掌控，拒绝信号的频率更加低（＞200kHz）（3）信息记录行业：拒绝数据传输率＞1GHz4、低功耗——很多领域拒绝传感器本身的功耗极低，以求缩短传感器的使用寿命。应用于在植入身体内磁性生物芯片，指南针等等。（1）植入身体内磁性生物芯片（2）用于电池供电的水表／气表格，以及微功耗智能电表（3）室外／野外磁性传感器（磁性出现异常检测仪、电子指南针、手持式磁场探测仪等）（4）航空航天用磁性传感器5、抗干扰性——很多领域里传感器的用于环境没任何评选，就拒绝传感器本身具备很好的抗干扰性。还包括电子罗盘、金融磁头等。
（1）电子罗盘：大多数电路板产生的杂散磁场为地磁场的50倍以上；（2）金融磁头：内部的各种电机产生的磁场的强度为磁性油墨磁场的50倍以上；（3）POS机磁头：手机信号的磁场为磁头磁场的5倍以上；（4）水表、气表等；（5）汽车电子：发动机、运动部件以及各种电线产生磁场的可以在10Gs以上6、小型化、集成化、智能化——要想做到以上市场需求，这就必须芯片级的构建，模块级构建，产品级构建（1）芯片级的构建：传感器＋ASIC数字式输入、标准化输入（2）模块级构建：芯片＋外部磁铁＋模具＋电路基本功能的构建（3）产品级构建：模块＋产品功能化、智能化四、TMR技术在电流检测领域的优势电流传感器是能将被测体的电流的信息，按一定规律转换沦为合乎一定标准必须的电信号或其他所须要形式的信息输入，以符合信息的传输、处置、存储、表明、记录和掌控等拒绝。目前电流传感器检测技术有很多，少见的有电阻分流器、电流互感器、霍尔电流传感器、磁通门电流传感器、Rogowski线圈，磁阻效应电流传感器，磁致前端电流传感器和光线电流传感器等等。
其中在现代工业和电子产品，以霍尔为代表的磁传感器应用于尤为普遍。磁传感器以感应器磁场强度来测量电流、方位、方向等物理参数，磁传感器还包括霍尔（Hall）元件，各向异性磁电阻（AnisotropicMagnetoresistance，AMR）元件或巨磁电阻（GiantMagnetoresistance，GMR）以及穿着隧磁阻效应（TunnelMagnetoresistance，TMR）等元件为敏感元件的传感器。普通器件测量通过器件的电流非常简单，因为电流电平比较较高，为毫安甚至安培级。随着移动智能设备的普及，物联网的应用于和生物技术的发展，当今器件工作电流较低至微安级甚至更加较低，因此必须更加简单设备展开测量。
以霍尔元件为敏感元件的磁传感器一般来说用于聚磁环结构来缩放磁场，提升霍尔输入灵敏度，从而减少了传感器的体积和重量，同时霍尔元件具备功耗大，线性度劣的缺失。AMR元件虽然其灵敏度比霍尔元件低很多，但是其线性范围较宽，同时以AMR为敏感元件的磁传感器必须设置Set／Reset线圈对其展开预设／废黜操作者，导致其生产工艺的简单，线圈结构的设置在减少尺寸的同时也减少了功耗。
以GMR元件为敏感元件的磁传感器较之霍尔电流传感器有更高的灵敏度，但是其线性范围偏高。TMR（TunnelMagnetoresistance）元件是近年来开始工业应用于的新型磁电阻效应传感器，TMR技术最初是用在硬盘中磁性读取头上的，因此其对磁场检测的精度、准确度以及寿命可靠性在硬盘中经过了几十年的市场检验。在检测电流时是通过检测铜排和导线上电流所产生的磁场，再行通过芯片一定的运算来获得电流大小。
比起于之前所找到并实际应用于的AMR元件和GMR元件具备更大的电阻变化率。TMR元件相对于霍尔元件具备更佳的温度稳定性，更高的灵敏度，更加较低的功耗，更佳的线性度，不必须额外的聚磁环结构；相对于AMR元件具备更佳的温度稳定性，更高的灵敏度，更加长的线性范围，不必须额外的set／reset线圈结构；相对于GMR元件具备更佳的温度稳定性，更高的灵敏度，更加较低的功耗，更加长的线性范围。
右图是四代磁传感技术原理图。图3磁传感技术发展历程下表是霍尔元件、AMR元件、GMR元件以及TMR元件的技术参数对比，可以更加确切直观的看见各种技术的好坏。表格2各磁传感器技术参数基于TMR芯片生产的电流传感器在高灵敏度，温度稳定性，抗干扰性，小型化、集成化、智能化和低功耗方面具有出众的展现出。
作为第四代磁感应技术。灵敏度，分辨率，功耗，温度特性都有10倍以上的提高，能够全芯片级制程掌控获取可信的品质和合理的价格。
五、TMR磁传感器产品在各个领域中的实际应用于TMR磁传感器产品的应用于十分普遍，还包括工业掌控、金融器具、生物医疗、消费电子、汽车领域等，其典型特征是低功耗、小尺寸、高灵敏度。1、在流量计领域中，智能水表、智能热量表一般都使用电池供电，因此对传感器的功耗拒绝十分严苛。当前水表方案使用干簧管、低功耗霍尔器件以及韦根传感器等，要么频率响应非常低造成测量精度过于，要么就是功耗相当大造成电池寿命很短。
而使用韦根传感器的智能热量表电路简单，可靠性劣，小流量的测量也不准确。另外，使用霍尔器件的传统电表方案温度性能较为劣，由于灵敏度较低必须额外减少聚磁环，造成体积和成本增加。目前，使用两个TMR超强低功耗磁传感器的方案，根据叶轮旋转的磁场变化测量扭矩，获得水表的瞬时流量，并且功耗非常低。
在智能电表中，基于TMR磁传感器的电表比传统霍尔器件电表体积更加小、成本更加较低、精度更高、温度特性更佳。图3智能水表图4智能气表2、在电动汽车领域，电动汽车上必须检测电流的地方很多，比如BMS，MCU，PDU，车载充电器，DC－DC等目前行业内对电流的检测和监控，除了一些高端车型不会使用精度更高、响应速度更慢的HALL闭环电流传感器，广泛用的都是HALL开环方案。HALL电流传感器虽然HALL开环电流传感器的精度、线性度、响应速度、温漂特性等性能方面皆不如HALL闭环方案，但是汽车电气工程师广泛更加介意其能符合一般工作拒绝情况的经济性（4－10美金），当下国产的HALL开环方案市场价堪称有朝3美金方向回头的趋势。
HALL开环电流传感器的确有一定的经济性，但是其较肿大的体积，要闲置相当大空间也更加受到工程师的诟病。特别是在是在电动汽车行业，动力模块的小型化是各家车厂都竞相研究的方向。
TMR（穿着隧磁阻效应）电流传感器，这种方案可实现级小体积的芯片来准确检测铜排或者导线上电流，其精度、线性度、响应速度和温漂特性可以相媲美HALL闭环方案，而且该方案的成本甚至比HALL开环方案还有优势。图5微安级TMR电流传感器3、在金融器具领域，国内的金融设备主要使用电感线圈和锑化铟磁头，无论是检测精度和信噪比，还是磁头的尺寸，皆无法与其他发达国家特别是在是日本的金融磁头比起，更为相当严重的是产品一致性不存在问题，量产工艺不平稳，无法大批量生产。时至今日，全球（还包括中国）高端金融磁头市场都被日本公司独占。TMR磁性辨识传感器是专门用作纸币、银行票据、证券磁特性的检测、辨识的新型显电阻验钞磁头，主要应用于点验钞机、清分设备、ATM、各类自动售货机读书钞、验钞模组和磁卡读头，具备高灵敏度、低信噪比、高频敲等特点。
图6（左）单通道TMR金融磁头（右上）6地下通道TMR金融磁头（右下）18地下通道TMR金融磁头4、在电梯、矿洞、桥梁等钢丝绳可用探伤方面，基于TMR磁传感器的产品需要利用很弱磁检测精确定位绳索的表面缺失和内部缺失，与目前几万、几十万的检测系统比起精度更高、价格更为亲民、检测更为便利。图7高精度低成本的TMR芯片级传感器5、在智能行驶管理系统领域，与传统的地感线圈、超声波、RFID、红外线等辨别停车位上若无车辆比起，TMR线性磁传感器需要根据车辆对地磁的扰动特征辨识出来，精度高、体积小、更容易加装确保、全天候工作。图8TMR传感器用作行驶管理6、在医疗领域，例如血槽中磁珠外表的生物膜跟血液中有所不同的病毒融合的实验，通过血液中的磁珠体积变化从而辨别病人的病情，而TMR磁传感器需要精准的监测出有磁珠体积否逆大。基于TMR磁传感器的产品在智慧家庭和智能汽车领域将不会扩展更好的应用于。
由于TMR材料同时不具备工作磁场较低、灵敏度低、热稳定性好等特性，因此，与GMR效应比起，TMR效应具备更加辽阔的应用于前景。研究与研发室温TMR值高、热稳定性好、RA值低、成本低的TMR材料将是今后磁电阻材料领域工作的重点和关键。
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